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Automatisierte Technologien bei Halbleiter und Elektronik

Passende Lösungen für höchste Präzision für Halbleiterproduktion und Plastic Electronics Anwedungen

Halbleiterproduktion

In der Halbleiterfertigung ist angesichts mehrerer Hundert Prozessschritte und Bewegungen im Nanometerbereich höchste Präzision gefordert. Die Halbleiterindustrie benötigt Automatisierungspartner, die in der Lage sind, innovative und maßgeschneiderte Systemlösungen bereitzustellen. Das Multitechnologieportfolio von Bosch Rexroth gilt bei Funktionen und Qualität für alle Prozessschritte in der Elektronikfertigung in der Branche als führend.

Die Linearbewegungssysteme von Bosch Rexroth setzen neue Maßstäbe bei der Konfigurierbarkeit: Bei diesem System werden alle elektronischen Teile an der Außenwand der Prozesskammer montiert. Dadurch ist es möglich, Wafer berührungsfrei durch die geschlossenen Prozesskammern zu bewegen. Das System ist einfach zu warten; die Steuereinheit bietet eine Vielzahl weiterer Bewegungsvorgänge. Kunden von Bosch Rexroth steht darüber hinaus eine Vielzahl von Modulen für Waferhandhabung , Wafer Stages , Back-End , Gantry und Kunststoffelektroniklösungen zur Auswahl. Von ruckfreien, langsamen Bewegungen bis zur Positionierung bei hohen Geschwindigkeiten: Unsere Systeme garantieren höchste Präzision über den gesamten Bereich.

Kunden weltweit verlassen sich auf unser dichtes Netz aus Branchenexperten, das für uns kompetente Beratung vor Ort und schnellen Service leistet. Bei allem, was wir tun, schützen wir das Know-how unserer Kunden, wie die mehr als zehnjährige Erfolgsgeschichte von Bosch Rexroth in der Branche zeigt.

Elektroindustrie

Energie, Ressourcen und Kosten sparen

Plastic Electronics von der Rolle – so könnten faltbare oder organische Displays, aufrollbare Tablet-PCs, organische Solarzellen auf flexiblen Trägermaterialien oder gedruckte RFID-Chips in Zukunft produziert werden. Gedruckt wie Zeitungen, umwelt- und ressourcenschonend, kostengünstig und somit massenproduktfähig hergestellt. Diese Technologie wächst From-Lab-to-Fab und eröffnet komplett neue Produktmöglichkeiten.

Entscheidendes Branchen-Know-how

Bosch Rexroth hat schon immer frühzeitig Zukunftstechnologien aufgegriffen und Entwicklungen vorangetrieben. Die Solarbranche ist nur eines der Beispiele und gleichzeitig eine solide Basis für die Evolution von Plastic Electronics. Für die neuen Aufgaben in diesem Bereich sind gebündelte und tief greifende Kenntnisse aus zwei unterschiedlichen Industriezweigen von entscheidender Bedeutung: Druck und Elektronik. Bosch Rexroth hat in diesen beiden Welten langjährige Erfahrungen – sowohl mit den Beschichtungsprozessen in der Elektronikindustrie als auch mit den klassischen Herstellungsverfahren der Druckindustrie.

Roll-to-Roll-Verfahren

Die Herstellung mittels Roll-to-Roll-Technologie ermöglicht fortlaufende und schnelle Beschichtung von flexiblen Substraten mittels ultradünner Schichten. So können zum Beispiel bei RFID-Etiketten durch die Verwendung von organischen Materialien die Kosten drastisch gesenkt werden.

Bosch Rexroth – Branchenerfahrung und Kompetenz

  • Tief greifendes Branchen-Know-how in der Druck und Elektronikindustrie
  • Der Spezialist für sämtliche Antriebs- und Steuerungstechnologien
  • Globale Präsenz

Zahlreiche Innovationen – unter anderem:

  • Open Core Engineering : Die neue Flexibilität im Software-Engineering ermöglicht die Verbindung von SPS- und IT-Automatisierung durch Zugriff auf Steuerungs-und Antriebsfunktionen.
  • MultiWeb-Tension-Control: Für unterschiedliche Bahnzugspannungsbereiche innerhalb der Anlage.
  • Folienspeicher: Kurzzeitiges Stillsetzen eines Bahnabschnitts z. B. für Inspektionsarbeiten. Der Bahntransport muss nicht in der gesamten Anlage gestoppt werden, die Produktivität der Maschine wird durch drastische Reduzierung der Taktzeit erhöht.
  • Mitlaufende Laserbearbeitung: Controller-basierte Rexroth-Steuerungen ermöglichen eine Laserbearbeitung während des kontinuierlichen Bahntransports. Dadurch ist ein Stillsetzen des Bahntransports in derMaschine nicht nötig.

Erfolgreiche Partnerschaften mit Bosch Rexroth

  • Organische Beschichtung: Rexroth bietet das weltweit größte Automatisierungsspektrum für die Halbleiterherstellung und Elektronikindustrie.
  • Druckindustrie: Rexroth ist seit über 20 Jahren Automatisierungsspezialist für alle Druckprozesse
  • Forschung und Entwicklung: Rexroth arbeitet bei Forschungsprojekten wie z. B. Solience (Organische Fotovoltaik) maßgeblich mit.
  • Industriestandards: Rexroth ist an Standardisierungsgremien wie z. B. OCE von VDMA beteiligt.

Rexroth ist einzigartig in der Fähigkeit globale Ressourcen zu bündeln und den Ihrerseits benötigten Service zu garantieren. Sie haben Zugang zu einem Team von Experten der Halbleiterindustrie in Europa, Amerika und Asien.

Unsere Mitarbeiter besitzten Erfahrung aus erster Hand und kennen die spezifischen Herausforderungen jeder Region.