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Wafer Stages

Hohe Positioniergenauigkeit und fein abgestimmte Bewegungen mit präziser IO-Synchronisation

Das Wafer-Stage-Programm sorgt für hoch präzise Bewegungen im Nanometerbereich zur Ausrichtung, Positionierung und Prüfung von Wafern bei Inspektion und Qualitätskontrolle.

Das Precision-Motion-Control-System MPC gewährleistet hohe Präzision mit einer Auflösung von 1 bis 5 nm sowie gleichmäßiges, langsames Bewegen bei ≥ 50 nm/s. Besondere Servomotoren und eisenlose Linear- und Torquemotoren sorgen für eine verbesserte dynamische Leistung. Die hoch präzisen Linearführungen eliminieren Schwingungen. Das Automatisierungspaket wird durch ein pneumatisches Teilsystem vervollständigt.