Wafer Handling

Technologie für hohe Präzision, Geschwindigkeit und die gleichmäßige Waferhandhabung.

Hoch steif, überschwingungsfrei und spielfrei: Die Waferhandhabungslösungen von Bosch Rexroth sorgen für die perfekte Abstimmung zwischen hoch dynamischen Servoantrieben, hoch steifen Linearteilsystemen und pneumatischen Aktoren. So reduzieren Sie unproduktive Leerlaufzeiten und können die Handhabung für alle Front-End-Vorgänge standardisieren. Vordefinierte Algorithmen für die Motion-Control-Bewegungssteuerung verhindern das Entstehen von Schwingungen. Übergeordnete Bewegungsprofile und Spline-Funktionen sorgen für gleichmäßigere Bewegungsabläufe.